Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч.1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
Об издании
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Библиографическая запись
Королёв М.А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Ч.1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / Королёв М.А., Крупкина Т.Ю., Ревелева М.А.. — Москва : Лаборатория знаний, 2020. — 398 c. — ISBN 978-5-00101-814-8 (Ч. 1), 978-5-00101-813-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/12272.html (дата обращения: 26.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Казиев В.М.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Мякишева Ю.В., Громова Д.С., Щепеткова Р.А., Павлов И.С., Павлов А.Ф.
(Ай Пи Ар Медиа)
Вишневский А.В.
(Российский государственный университет правосудия)
Черепашков А.А., Носов Н.В.
(Проспект Науки)
Генералова С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Химченко А.В., Мищенко Н.И., Козлов В.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перхуткин В.П., Перхуткина З.И., Овчарук Т.А., Недух Е.Н., Панюкова М.Л.
(Инфра-Инженерия)