Алгоритмическое обеспечение подсистемы оптимизации технологического процесса производства изделий интегральной электроники

Авторы: Львович И.Я., Львович Я.Е., Преображенский А.П., Салеев Д.В., Чопоров О.Н.

Издательство: Воронежский институт высоких технологий, Научная книга

В монографии рассматривается оптимизация технологического процесса производства изделий интегральной электроники. Проводится подробный анализ особенностей технологического процесса, разрабатывается структура подсистемы оптимизации. Строятся алгоритмы оптимизации и поиска управленческого решения при производстве продукции интегральной электроники, проводится имитационное моделирование управления технологическим процессом. Монография предназначена для научных работников, преподавателей, студентов, занимающихся проблемами проектирования интегральных микросхем и технологическими процессами.