Технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Хорин И.А. Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Хорин И.А.. — Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. — 280 c. — ISBN 978-5-4486-0210-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/73345.html (дата обращения: 17.02.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Тополь Э.
(Альпина Паблишер)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Половникова М.В., Байтурина Р.Р.
(Ай Пи Ар Медиа)
Половникова М.В., Байтурина Р.Р.
(Ай Пи Ар Медиа)
Галиахметов Р.А., Соколова Н.Г., Злобина Е.Ю., Тихонова Э.Н., Пантелеева Е.А., Ончукова Г.Е., Пушина Н.Н., Дегтерева М.Р., Харитонова Н.Н., Севрюгин Ю.В., Фирсова С.Н., Бушмелева Г.В., Батов А.А., Ши...
(Ай Пи Ар Медиа)
Сичкарев Д.В., Горевая Е.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
Бегинина И.А., Иванова Е.М., Ивченков С.Г., Калинникова М.В., Карелин М.А., Кудряшова Т.Н., Никифоров Я.А., Судакова М.Е., Шахматова Н.В....
(Издательство Саратовского университета)
.jpg)
Половникова М.В., Байтурина Р.Р.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)