Технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Хорин И.А. Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Хорин И.А.. — Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. — 280 c. — ISBN 978-5-4486-0210-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/73345.html (дата обращения: 26.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Максимов Г.В., Василенко В.Н., Клименко А.И., Максимов А.Г., Ленкова Н.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Булгакова С.В., Тренева Е.В., Курмаев Д.П., Косарева О.В., Шаронова Л.А., Долгих Ю.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хавин Д.В., Никифоров А.Н., Ноздрин В.В., Башева А.В., Горбунов С.В., Табунов И.В.
(Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Кузьмина Т.К., Большакова П.В., Шестерикова Я.В.
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)