Технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены ключевые технологии электронной компонентной базы, такие как получение полупроводниковых пластин, легирование, литография, травление, осаждение пленок, быстрые термические отжиги, сборка микросхем. Дан анализ современного состояния и тенденций развития электроники. Особое внимание уделяется получению наноструктур при оптической литографии, технологии «Кремний на изоляторе» и формированию систем многоуровневой металлизации ИС. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Хорин И.А. Технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Хорин И.А.. — Саратов : Ай Пи Эр Медиа, 2018. — 280 c. — ISBN 978-5-4486-0210-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/73345.html (дата обращения: 28.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кудрявцева О.В.
(Астраханский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Кротов К.С.
(Издательство Саратовской государственной юридической академии)
Окшин В.В., Полубоярова Л.Ю., Панькова В.В.
(Оренбургский государственный университет, ЭБС АСВ)