Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Библиографическая запись
Родионов, Ю. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2019. — 352 c. — ISBN 978-5-9729-0337-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/86656.html (дата обращения: 06.03.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Вишневский А.В.
(Российский государственный университет правосудия)
Легезина Г.И.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Остриков А.Н., Василенко В.Н., Фролова Л.Н., Копылов М.В.
(Проспект Науки)
Бирюков А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Бердышев В.Е., Ерошенко Л.И., Новиков М.А., Ружьев В.А., Смелик В.А., Теплинский И.З.
(Проспект Науки)
Наволокина Р.А., Абрамова Л.И.
(Инфра-Инженерия)
Абрамова Л.И., Наволокина Р.А.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перхуткин В.П., Перхуткина З.И., Овчарук Т.А., Недух Е.Н., Панюкова М.Л.
(Инфра-Инженерия)