Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии. Учебное пособие
Об издании
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Светличный А.М. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А.М., Житяев И.Л.. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2017. — 104 c. — ISBN 978-5-9275-2395-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/87516.html (дата обращения: 20.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Вишневский А.В.
(Российский государственный университет правосудия)
Легезина Г.И.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Бирюков А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Наволокина Р.А., Абрамова Л.И.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Томсинов В.А.
(Зерцало-М)
Денисов Е.П., Царев А.П., Кульков В.Ф., Солодовников А.П., Летучий А.В., Денисов К.Е.
(Корпорация «Диполь»)
