Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 1. Учебное пособие

Об издании

Ионная имплантация приобрела в последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств и других приборов современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения металлов. Исследования эффектов ионной имплантации в металлы ведутся по многим направлениям: моделирование нейтронных дефектов в стенках тепловыделяющих элементов ядерных реакторов, увеличение срока службы шарикоподшипников, повышение твердости и износостойкости инструмента, создание медицинских имплантатов. Учебное пособие состоит из двух частей. Часть первая содержит информацию о достижениях ионной имплантации, закономерностях материаловедения, методологии электроники, технологий нанесения металлических структур интегральных схем. Подготовлено в соответствии с Федеральным государственным образовательным стандартом высшего образования. Издание будет полезно при изучении дисциплин «Электротехническое и конструкционное материаловедение», «Создание современных материалов с использованием электротехнологий», «Методология научного исследования» по направлению «Электроэнергетика и электротехника», а также может представлять интерес для преподавателей, научных работников, инженеров и аспирантов.

Библиографическая запись

Перинский, В. В. Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 1 : учебное пособие / В. В. Перинский, И. В. Перинская. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2020. — 94 c. — ISBN 978-5-4497-0620-1 (ч. 1), 978-5-4497-0621-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/97181.html (дата обращения: 28.09.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей