Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 2. Учебное пособие

Об издании

Ионная имплантация приобрела за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств и других приборов электронной техники, но и как универсальный метод экспериментального материаловедения металлов. Исследования эффектов ионной имплантации в металлы ведутся по многим направлениям: моделирование нейтронных дефектов в стенках твэлов ядерных реакторов; замена покрытий из драгоценных металлов ионно-модифицированными аналогами, повышение твердости, износостойкости тонких металлических слоев изделий электронной техники; увеличение срока службы шарикоподшипников; создание медицинских имплантатов. Учебное пособие состоит из двух частей. Часть вторая содержит информацию об ионно-лучевой технологии монолитных СВЧ-устройств, управлении структурно-химическими свойствами материалов ионно-лучевой обработкой, физике и технике ионной имплантации, ионно-легированных аналогах драгоценных металлов монолитных СВЧ-устройств. Подготовлено в соответствии с Федеральным государственным образовательным стандартом высшего образования. Издание будет полезно при изучении дисциплин «Электротехническое и конструкционное материаловедение», «Создание современных материалов с использованием электротехнологий», «Методология научного исследования» по направлению «Электроэнергетика и электротехника», а также может представлять интерес для преподавателей, научных работников, инженеров и аспирантов.

Библиографическая запись

Перинский, В. В. Материаловедение ионно-имплантированных металлов интегральных схем. В 2 частях. Ч. 2 : учебное пособие / В. В. Перинский, И. В. Перинская. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2020. — 134 c. — ISBN 978-5-4497-0631-7 (ч. 2), 978-5-4497-0621-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/97182.html (дата обращения: 24.07.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей