Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии. Монография
Об издании
Монография посвящена применению метода ИК-спектроскопической эллипсометрии для исследований и диагностики наноматериалов и наноразмерных многослойных гетероструктур. Плодотворность использования данного метода нанодиагностики обусловлена тем, что, с одной стороны, метод является неразрушающим, а с другой – высокоточным и чувствительным (точность определения толщин слоев гетероструктуры составляет доли нанометра). Этими обстоятельствами обусловлено широкое применение ИК-спектроскопической эллипсометрии в различных областях исследований: в микро- и наноэлектронике, физике полупроводников и физике твердого тела, в оптике, электрохимии, химии полимеров, биологии, медицине и многих других, а также в области диагностики и контроля технологических процессов микро- и нанотехнологий. В монографии приведены результаты исследований наноразмерных полупроводниковых, органических и металлоорганических гетероструктур, выполненных коллективом авторов методом ИК-спектроскопической эллипсометрии. Описаны принципы и методология проведения исследований на спектроскопических эллипсометрах. Для научных сотрудников научно-исследовательских институтов, преподавателей, аспирантов и студентов высших технических учебных заведений по направлениям подготовки «Нанотехнология», «Наноинженерия», «Нанотехнологии и микросистемная техника». Монография будет полезна всем, занимающимся вопросами исследований и диагностики наноматериалов и наноструктур и работающим в области нанотехнологий и наноинженерии.
Библиографическая запись
Макеев М.О. Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии : монография / Макеев М.О., Мешков С.А., Иванов Ю.А.. — Москва : Российский университет дружбы народов, 2018. — 143 c. — ISBN 978-5-209-08575-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/104247.html (дата обращения: 19.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Костюкова Н.И.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Брыляков К.П., Сошников И.Е., Талзи Е.П.
(Издательский Дом «Интеллект»)
Грехова И.В., Михеев М.Ю., Семёнов В.К., Гильманова М.В.
(Государственный аграрный университет Северного Зауралья)
Пахаруков Ю.В., Шабиев Ф.К., Сафаргалиев Р.Ф.
(Тюменский индустриальный университет)
Кузнецова Ю.В.
(Тверской государственный университет)
Шехтман Л.И.
(Новосибирский государственный университет)
Кравцов В.В., Зенцов В.Н., Шингаркина О.В., Асташина М.В.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Томсинов В.А.
(Зерцало-М)
Денисов Е.П., Царев А.П., Кульков В.Ф., Солодовников А.П., Летучий А.В., Денисов К.Е.
(Корпорация «Диполь»)
