Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами. Учебное пособие
Об издании
Ионно-лучевое модифицирование диэлектриков (ионная имплантация) приобрело за последние годы очень важное значение не только как способ создания микроэлектронных устройств современной твердотельной электроники, но и как мощный универсальный метод экспериментальной физики, материаловедения. Исследования эффектов ионной имплантации диэлектриков ведутся по многим направлениям: моделирование нейтронных дефектов в стенках тепловыделяющих элементов ядерных реакторов, повышение твердости и износостойкости полимерных диэлектрических покрытий интегральных схем, создание медицинских имплантатов. В учебном пособии изложены результаты исследований физико-химических процессов, протекающих в диэлектриках при имплантации ионов высоких энергий, с целью повышения эксплуатационных свойств. Издание включает следующие разделы: достижения ионной имплантации диэлектриков, закономерности материаловедения диэлектриков при взаимодействии ускоренных ионов с диэлектрическими материалами, процедура компьютерного моделирования процесса ионного внедрения в технологии модифицирования диэлектрических структур. Книга будет интересна и полезна преподавателям, научным работникам, инженерам, а также магистрантам и аспирантам укрупненных групп специальностей и направлений подготовки 15.00.00 «Машиностроение», 28.00.00 «Нанотехнологии и наноматериалы» при изучении дисциплин «Новые конструкционные материалы», «Функциональные покрытия изделий машиностроения», «Наноматериалы и нанотехнологии в машиностроении», «Тонкопленочные технологии в упрочнении изделий машиностроения», «Применение СВЧ энергии в нанотехнологиях».
Библиографическая запись
Перинский В.В. Материаловедение ионно-модифицированных диэлектриков: физические основы взаимодействия ускоренных ионов с многокомпонентными материалами : учебное пособие / Перинский В.В., Перинская И.В., Вениг С.Б.. — Саратов : Вузовское образование, 2021. — 104 c. — ISBN 978-5-4487-0787-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/107584.html (дата обращения: 19.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Налобина А.Н., Федорова Т.Н.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Панова И.В., Панов А.Б.
(Центр публичного права, Наука)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Мотовилов К.Я., Булатов А.П., Позняковский В.М., Ланцева Н.Н., Миколайчик И.Н.
(Вузовское образование)
