IPR SMART / Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники

Издательство:

Белорусская наука

Авторы:

Достанко А.П., Аваков С.М., Голосов Д.А., Емельянов Е.В., Завадский С.М., Колос В.В., Ланин В.Л., Мадвейко С.И., Мельников С.Н., Никитюк Ю.В., Петлицкий А.Н., Петухов И.Б., Пилипенко В.А., Плебанович В.И., Солодуха В.А., Соколов С.И., Телеш Е.В., Шершнев Е.Б.

Сведения об ответственности:

ред. Достанко А.П.

Год издания:

2020

ISBN:

978-985-08-2521-6

Тип издания:

монография

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Библиографическая запись

Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники / А. П. Достанко, С. М. Аваков, Д. А. Голосов [и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. — Минск : Белорусская наука, 2020. — 261 c. — ISBN 978-985-08-2521-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/107658.html (дата обращения: 06.02.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей