Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники
Об издании
В книге рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области инновационных технологий и оборудования для микроэлектронного производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Библиографическая запись
Инновационные технологии и оборудование субмикронной электроники / А. П. Достанко, С. М. Аваков, Д. А. Голосов [и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. — Минск : Белорусская наука, 2020. — 261 c. — ISBN 978-985-08-2521-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/107658.html (дата обращения: 06.02.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Жаныс А.Б.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Бережнов А.Г., Воротилин Е.А., Кененов А.А., Лейст О.Э., Марченко М.Н., Мачин И.Ф., Мицкевич А.В., Орехова Т.Р., Попков В.Д....
(Зерцало-М)
Акутина А.Н., Акутина С.П., Ананченко Е.В., Атласова А.Д., Барахсанова Е.А., Бассара Ч., Батаков Б.Л.
(Вятский государственный гуманитарный университет)
Суминов И.В., Белкин П.Н., Эпельфельд А.В., Людин В.Б., Крит Б.Л., Борисов A.M.
(Техносфера)
Суминов И.В., Белкин П.Н., Эпельфельд А.В., Людин В.Б., Крит Б.Л., Борисов A.M.
(Техносфера)
Пугачёв В.П.
(Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова)