Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Об издании
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Библиографическая запись
Боброва, Ю. С. Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум / Ю. С. Боброва, Ю. Б. Цветков. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2020. — 44 c. — ISBN 978-5-7038-5369-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/115334.html (дата обращения: 06.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Панкратьев Е.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Ларионов И.К., Федоров М.В., Гуреева М.А.
(Дашков и К)
Туманов В.Е.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Легкий Н.М., Шумилин В.К.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Бадокин О.В., Блаженкова Т.А.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Воронцова А.В.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Шевырёва Т.В., Соломина Е.Н.
(Московский педагогический государственный университет)
Савенкова Е.В., Шклярова О.А.
(Московский педагогический государственный университет)
Ларионова В.А., Быстрова Т.Ю., Гончарова Н.В., Дайнеко Л.В., Дьячкова А.В., Караваева Н.М.
(Издательство Уральского университета)
