Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Об издании
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки. Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Библиографическая запись
Боброва, Ю. С. Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур : практикум / Ю. С. Боброва, Ю. Б. Цветков. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2020. — 44 c. — ISBN 978-5-7038-5369-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/115334.html (дата обращения: 06.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Легкий Н.М., Шумилин В.К.
(Инфра-Инженерия)
Буре Н.А., Суханова О.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Карпичев Е.В., Тестина Я.С., Алексеева А.В.
(Инфра-Инженерия)
Мейер Б.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Овчинников В.В., Учеваткина Н.В., Гуреева М.А.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Дмитриев В.Г., Куприянов А.И., Перунов Ю.М.
(Инфра-Инженерия)
Лукьянова Л.М.
(Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта)
Нуралиев Н.А.
(Международный университет Кыргызстана)
Штейнбах В.Л.
(Издательство «Спорт»)
Штейнбах В.Л.
(Издательство «Спорт»)