Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники. Учебное пособие
Об издании
Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники, а также технологические процессы при изготовлении электронных компонентов на основе нитридов III группы. Каждое описание лабораторной работы содержит теоретическое введение, которое может использоваться в качестве краткого конспекта лекций, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание, перечень вопросов для самоподготовки и указания по технике безопасности. При выполнении лабораторного практикума используется оборудование НОЦ «Нанотехнологии» НИЯУ МИФИ. Лабораторный практикум создан в рамках выполнения работ по договору № 0000000007415Q050002/01 от 26 сентября 2016 г. c Фондом инфраструктурных и образовательных программ и может служить учебным пособием для различных групп слушателей: студентов, магистров, аспирантов направлений, связанных с физикой и технологией наноструктурной электроники, а также для слушателей по программам повышения квалификации названных направлений. Подготовлено в рамках Программы повышения конкурентоспособности НИЯУ МИФИ.
Библиографическая запись
Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники : учебное пособие / И. С. Васильевский, М. М. Грехов, А. С. Гусев [и др.]. — Москва : Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», 2018. — 256 c. — ISBN 978-5-7262-2398-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116403.html (дата обращения: 14.10.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Князькина Е.В., Хайруллин М.Ф.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Кальмова М.А., Муморцев А.Н., Ахмедов А.Д.
(Самарский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
.jpg)
Аникеев С.В., Найденков О.Н., Собурь С.В.
(ПожКнига)
Иванов В.А., Кузьмин С.В., Волынец И.Г., Михаленко С.В.
(Инфра-Инженерия)
Афанасьева И.М., Иванов А.В., Петрова Е.Н.
(Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Терехова С.А.
(Волгоградский государственный социально-педагогический университет, «Перемена»)
