Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники. Учебное пособие
Об издании
Лабораторный практикум состоит из базовых лабораторных работ в следующих областях физики и технологии наноструктурной электроники: методы исследования материалов и структур микро- и наноэлектроники, современные методы наноструктурирования поверхности материалов в технологии микро- и наноэлектроники, а также технологические процессы при изготовлении электронных компонентов на основе нитридов III группы. Каждое описание лабораторной работы содержит теоретическое введение, которое может использоваться в качестве краткого конспекта лекций, описание лабораторного оборудования, порядок выполнения работы, лабораторное задание, перечень вопросов для самоподготовки и указания по технике безопасности. При выполнении лабораторного практикума используется оборудование НОЦ «Нанотехнологии» НИЯУ МИФИ. Лабораторный практикум создан в рамках выполнения работ по договору № 0000000007415Q050002/01 от 26 сентября 2016 г. c Фондом инфраструктурных и образовательных программ и может служить учебным пособием для различных групп слушателей: студентов, магистров, аспирантов направлений, связанных с физикой и технологией наноструктурной электроники, а также для слушателей по программам повышения квалификации названных направлений. Подготовлено в рамках Программы повышения конкурентоспособности НИЯУ МИФИ.
Библиографическая запись
Лабораторный практикум по физике и технологии наноструктурной электроники : учебное пособие / И. С. Васильевский, М. М. Грехов, А. С. Гусев [и др.]. — Москва : Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», 2018. — 256 c. — ISBN 978-5-7262-2398-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/116403.html (дата обращения: 14.10.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Берлин А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Антонова Е.Г., Арзамасцева Н.В., Бабанская А.С., Бесшапошный М.Н., Бирюкова Т.В., Васильева О.Н., Водянников В.Т., Глойдман И.М., Григорьева Л.А., Гупалова Т.Н., Джикия К.А., Джикия М...
(Ай Пи Ар Медиа)
Абрашкина Е.Д., Агирбов Ю.И., Андреев О.П., Ариничев В.Н., Ашмарина Т.И., Бритик Э.В., Горбачев М.И., Грачев А.Б., Дрямов С.Ю., Евграфова Л.В., Егоров А.А., Ивакина Е.Г., Кабдин Н.Е., Каратаева О.Г.,...
(Ай Пи Ар Медиа)
Гайдук И.В., Крячко Л.Н., Лавриненко И.Ю., Нестерова О.Ф.
(Профобразование)
Абрамцева Е.Г., Мирзабекова А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Коновалова Ю.С., Логвина Е.С.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Смит М.
(Лаборатория знаний)
Тычинина Ю.А., Узенгер А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Степанов М.Б., Елисеева Е.А.
(Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана)