Процессы и оборудование микротехнологии: модули 1 и 2. Учебное пособие
Об издании
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
Библиографическая запись
Цветков, Ю. Б. Процессы и оборудование микротехнологии: модули 1 и 2 : учебное пособие / Ю. Б. Цветков. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2018. — 124 c. — ISBN 978-5-7038-4864-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/118902.html (дата обращения: 02.11.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Бахарев В.В.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Петров С.М.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Тыщенко В.А., Котов С.В., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)