Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Бодров, Е. Э. Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. — 204 c. — ISBN 978-5-9729-0846-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/124225.html (дата обращения: 28.09.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Малыш М.Н., Ткаченко В.А.
(Проспект Науки)
Богданов В.В., Бритов В.П., Лебедева Т.М., Николаев О.О., Овечко А.Н., Росинкевич С.Ф., Смирнов Б.Л., Стебловский Г.А., Стригин А.В., Туболкин А.Е., Шаховец С.Е....
(Проспект Науки)
Базарнова Ю.Г., Иванченко О.Б., Севастьянова А.Д.
(Проспект Науки)
Генкин А., Михеев А.
(Альпина Паблишер)
Кудряшев А.В., Светашков П.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перхуткин В.П., Перхуткина З.И., Овчарук Т.А., Недух Е.Н., Панюкова М.Л.
(Инфра-Инженерия)