Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Бодров, Е. Э. Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. — 204 c. — ISBN 978-5-9729-0846-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/124225.html (дата обращения: 28.09.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Афонин Д.Н., Афонин П.Н.
(Интермедия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Фетискин Н.П., Козлов В.В., Мануйлов Г.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Лекторский В.А., Дубровский Д.И., Черткова Е.Л.
(Институт философии РАН)
Мармоян А.Л., Назаренко И.Т., Белецкая А.А., Лобкарёва М.С.
(Южный институт менеджмента)
Бомин В.А., Сухинина К.В.
(Иркутский филиал Российского государственного университета физической культуры, спорта, молодёжи и туризма, Иркутская государственная сельскохозяйственная академия)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: