Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Бодров, Е. Э. Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. — 204 c. — ISBN 978-5-9729-0846-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/124225.html (дата обращения: 28.09.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Дьякова Т.В.
(Волгоградский государственный социально-педагогический университет, «Перемена»)
Быкова Н.О., Паращенко-Корнейчук Л.Н., Чернышкова Е.В., Ефремова Е.Ф., Зенина И.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Никулин В.И., Горденко Д.В., Сапронов С.В., Резеньков Д.Н.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Глобин А.Н., Удовкин А.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
