Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Бодров, Е. Э. Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. — 204 c. — ISBN 978-5-9729-0846-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/124225.html (дата обращения: 28.09.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Титов С.В.
(Профобразование)
(Ай Пи Ар Медиа)
Ермина М.А., Ермин Д.А.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Бочкарева Н.А., Елизарова Н.В., Захарова Ю.Б., Коржов В.Ю., Хлистун Ю.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Борисова Л.Р., Светлова Н.И., Седых И.Ю.
(Прометей)
Слепенкова О.А., Захарова Ю.Б.
(Ай Пи Эр Медиа)