Основы технологии электронной компонентной базы. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Бодров, Е. Э. Основы технологии электронной компонентной базы : учебное пособие / Е. Э. Бодров. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2022. — 204 c. — ISBN 978-5-9729-0846-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/124225.html (дата обращения: 28.09.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Николенко О.В., Сомоева С.Р., Бабакова Л.Д., Шаповалова Е.Ю.
(Донской государственный технический университет)
Горский В.Е., Захаркин И.В.
(Издательство «Спорт»)
Конюков А.Г.
(Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
(Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Махачек Л., Калоева Е.Б., Биткова Т.Г., Шаншиева Л.Н., Лыкошина Л.С., Бабенко В.Н.
(Институт научной информации по общественным наукам РАН)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: