Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
Библиографическая запись
Васильев В.Ю. Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие / Васильев В.Ю.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2022. — 131 c. — ISBN 978-5-7782-4726-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/126638.html (дата обращения: 13.02.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Тополь Э.
(Альпина Паблишер)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Перетерский И.С., Краснокутский В.А., Новицкий И.Б., Розенталь И.С., Флейшиц Е.А.
(Зерцало-М)
Артюх Д.В., Винер И.А., Капранова О.С., Кивихарью И.В., Крючек Е.С., Кудрявцева З.Н., Мальнева А.С., Медведева Е.Н., Мойкина С.С., Пеленицина Е.Д., Супрун А.А., Терехина Р.Н., Шамрай А.Л., Шамшадинов...
(Издательство «Спорт»)
Воронина П.В., Лапин В.Н.
(Новосибирский государственный университет)
