Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Line (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
Библиографическая запись
Васильев В.Ю. Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем : учебное пособие / Васильев В.Ю.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2022. — 131 c. — ISBN 978-5-7782-4726-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/126638.html (дата обращения: 21.05.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Плешивцев А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Васькина Т.И., Семышев М.В., Поцепай С.Н.
(Профобразование)
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Схиртладзе А.Г., Федотов А.В., Хомченко В.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Воронцова А.В.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Ванькович И.М., Волкова В.О., Горохова Д.В., Исаев Э.А., Лысенко А.А., Павлова А.С., Тимкин Т.Р., Федченко Е.А.
(Прометей)
Разумникова О.М.
(Новосибирский государственный технический университет)
Хамматова Э.А., Гайнутдинов Р.Ф.
(Издательство КНИТУ)