Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
Об издании
Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС. Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов.
Библиографическая запись
Зеленин, В. А. Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / В. А. Зеленин. — Минск : Белорусская наука, 2022. — 291 c. — ISBN 978-985-08-2875-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/128089.html (дата обращения: 09.02.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Берлин А.Н.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Флойд К.С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Космодемьянская Е.Е., Мельников Е.Б., Горбунов А.С., Трояк Е.Ю.
(Сибирская пожарно-спасательная академия ГПС МЧС России)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Жужин М.С., Кучин Н.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Карнаухов М.Л., Пьянкова Е.М.
(Инфра-Инженерия)
Алексеев Г.В.
(Вузовское образование)
Атаров Н.М., Варданян Г.С., Горшков А.А., Леонтьев А.Н.
(Московский государственный строительный университет, ЭБС АСВ)
Олейник П.П., Ширшиков Б.Ф.
(Московский государственный строительный университет, ЭБС АСВ)
Зернов В.А., Минаев В.А., Пизенгольц В.М., Жукова М.В., Бочкарёва Г.П., Бойко В.Л., Доронин А.И.
(Российский новый университет)
Сенин Н.И., Дроздова П.Ф., Акимов П.А., Мозгалева М.Л., Алмазов В.О.
(Московский государственный строительный университет, ЭБС АСВ)