Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники
Об издании
Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС. Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов.
Библиографическая запись
Зеленин, В. А. Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / В. А. Зеленин. — Минск : Белорусская наука, 2022. — 291 c. — ISBN 978-985-08-2875-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/128089.html (дата обращения: 09.02.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Гамов Е.С., Кукушкина В.А., Чернышова М.И., Хечиашвили И.Т.
(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)
Богданов В.В., Бритов В.П., Лебедева Т.М., Николаев О.О., Овечко А.Н., Росинкевич С.Ф., Смирнов Б.Л., Стебловский Г.А., Стригин А.В., Туболкин А.Е., Шаховец С.Е....
(Проспект Науки)
Плаксин В.И., Узунов Ф.В., Узунов В.В.
(Университет экономики и управления)
Литвиненко В.П., Литвиненко Ю.В., Пантенков Д.Г.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Смекалов В.П., Бадмаева Д.Г., Смолянинова С.В.
(Проспект Науки)
Цехановский В.В., Водяхо А.И.
(Ай Пи Ар Медиа, EDP Hub (Идипи Хаб))
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Бурляева В.А., Олешкевич Т.А., Соловьев А.М., Соловьева Н.В., Чебанов К.А., Семкина Е.Н., Булах К.В., Тартышева Н.А., Дроздова Е.С., Соловьева Н.В., Булах К.В., Шулешко Е.С., Демченко Н.Ю., Макаренко...
(Невинномысский государственный гуманитарно-технический институт)
Удалова Т.Ю.
(Издательство ОмГПУ)
Балябина Е.В., Круглов А.Ю., Оганян К.М., Рудыхина О.В., Паттурина Н.П., Игнатенко М.С., Пекун М.Е., Романов К.В., Кричевский Б.В., Бахмутский А.Е., Бражник Е.И., Лысакова И.П., Теремова Р.М., Гаврил...
(Издательство РГПУ им. А. И. Герцена)
Селиверстов Ю.И., Никитина Е.А., Смольникова А.В.
(Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова, ЭБС АСВ)
Коробова О.А., Максименко Л.А.
(Новосибирский государственный архитектурно-строительный университет (Сибстрин), ЭБС АСВ)