Монография посвящена разработке новых многокомпонентных материалов для изделий наноэлектроники. Рассмотрены методы расчета азеотропных и эвтектических составов резистивных сплавов. Установлены механизмы и закономерности рекристаллизации и фазовых превращений, протекающих при термообработке многокомпонентных пленок и многослойных структур, содержащих тугоплавкие и редкоземельные элементы, их влияние на стабильность электрических параметров элементов интегральных микросхем (ИМС). Рассмотрены процессы, протекающие в объеме и на границах раздела многослойных структур при их формировании и при последующих высокоэнергетических воздействиях. Приведены данные по влиянию технологических параметров изготовления на структуру, фазовый состав и стабильность электрофизических свойств элементов ИМС. Рассчитана на широкий круг научных и инженерно-технических работников, специалистов в области микро- и наноэлектроники, может служить в качестве учебного пособия по теоретическим вопросам конструирования и производства ИМС для студентов и аспирантов вузов.
Зеленин В.А. Высокостабильные элементы и структуры для изделий наноэлектроники / Зеленин В.А.. — Минск : Белорусская наука, 2022. — 291 c. — ISBN 978-985-08-2875-0. — Текст : электронный // IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/128089.html (дата обращения: 28.05.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Фот Ж.А., Шалмина И.И.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-4497-1961-4, 978-5-8149-2409-4
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Амиржанова А.Ш.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-4497-1909-6, 978-593252-320-9
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Бодрякова Л.Н.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-4497-1952-2, 978-5-93252-257-8
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Жмудь В.А., Димитров Л.В., Носек Я.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-4497-1876-1
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Медведев Д.М.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-4497-1873-0
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Бодрякова Л.Н., Старовойтова А.А.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-4497-1943-0, 978-5-93252-288-2
Издательство: Издательство «Спорт»
Автор: Якимов А.М., Ревзон А.С.
Год издания: 2018
ISBN: 978-5-9500178-3-4
Издательство: Человек
Автор: Лапшин О.Б.
Год издания: 2018
ISBN: 978-5-906132-20-8
Издательство: Оренбургский государственный университет, ЭБС АСВ
Автор: Рахимова Н.Н.
Год издания: 2017
ISBN: 978-5-7410-1690-9
Издательство: Вузовское образование
Автор: Алексеев Г.В., Мосина Н.А.
Год издания: 2019
ISBN: 978-5-4487-0370-6