Плазменное оборудование для нанотехнологий. Учебное пособие
Об издании
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высокомолекулярных материалов.
Библиографическая запись
Гребенщикова М.М. Плазменное оборудование для нанотехнологий : учебное пособие / Гребенщикова М.М., Миронов М.М.. — Казань : Издательство КНИТУ, 2022. — 96 c. — ISBN 978-5-7882-3285-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/136179.html (дата обращения: 26.02.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Черепахин А.А., Агеев Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Козыряцкий Л.Н., Моргунов В.М., Федоров О.В.
(Инфра-Инженерия)
Хопин П.Н., Силуянова М.В.
(Инфра-Инженерия)
Алексеев Г.В., Карпичев Е.В., Тестина Я.С., Алексеева А.В.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Григоренко Д.Е., Летунова О.В., Дуреев С.П., Фомина Н.В.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)