Плазменное оборудование для нанотехнологий. Учебное пособие
Об издании
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высокомолекулярных материалов.
Библиографическая запись
Гребенщикова М.М. Плазменное оборудование для нанотехнологий : учебное пособие / Гребенщикова М.М., Миронов М.М.. — Казань : Издательство КНИТУ, 2022. — 96 c. — ISBN 978-5-7882-3285-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/136179.html (дата обращения: 13.04.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
.jpg)
Рыбина О.С., Белов В.В., Левченко В.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Черепахин А.А., Агеев Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Казиев Ш.М., Богатырёва И.А.-А., Эбзеева Ф.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Петрова Л.А., Малахова Ю.В.
(Профобразование)
Сафонов В.О.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Вязовик Н.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)