Плазменное оборудование для нанотехнологий. Учебное пособие
Об издании
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высокомолекулярных материалов.
Библиографическая запись
Гребенщикова М.М. Плазменное оборудование для нанотехнологий : учебное пособие / Гребенщикова М.М., Миронов М.М.. — Казань : Издательство КНИТУ, 2022. — 96 c. — ISBN 978-5-7882-3285-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/136179.html (дата обращения: 14.11.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Козыряцкий Л.Н., Моргунов В.М., Федоров О.В.
(Инфра-Инженерия)
Хопин П.Н., Силуянова М.В.
(Инфра-Инженерия)
Алексеев Г.В., Карпичев Е.В., Тестина Я.С., Алексеева А.В.
(Инфра-Инженерия)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Пояркова Е.В., Фролова О.А.
(Оренбургский государственный университет, ЭБС АСВ)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Блатова О.Ю.
(Новосибирский государственный архитектурно-строительный университет (Сибстрин), ЭБС АСВ)
Степаненко Е.Е., Халикова В.А., Зеленская Т.Г., Зверева О.С., Бабанский М.С.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Степаненко Е.Е., Халикова В.А., Зверева О.С., Бабанский М.С.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Степаненко Т.И.
(Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, ЭБС АСВ)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: