Плазменное оборудование для нанотехнологий. Учебное пособие
Об издании
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высокомолекулярных материалов.
Библиографическая запись
Гребенщикова М.М. Плазменное оборудование для нанотехнологий : учебное пособие / Гребенщикова М.М., Миронов М.М.. — Казань : Издательство КНИТУ, 2022. — 96 c. — ISBN 978-5-7882-3285-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/136179.html (дата обращения: 08.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Козыряцкий Л.Н., Моргунов В.М., Федоров О.В.
(Инфра-Инженерия)
Хопин П.Н., Силуянова М.В.
(Инфра-Инженерия)
Алексеев Г.В., Карпичев Е.В., Тестина Я.С., Алексеева А.В.
(Инфра-Инженерия)
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Пояркова Е.В., Фролова О.А.
(Оренбургский государственный университет, ЭБС АСВ)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Авдевнина О.Ю., Абрамова А.М., Девяткина В.В., Додыченко Е.А., Елина Е.А., Иванова Т.В., Никитина О.В., Пырков И.В., Фолимонов С.С....
(Издательство Саратовской государственной юридической академии)
(Северо-Кавказский федеральный университет)
Адвадзе В.С., Андреева И.А., Андриянова Л.С., Бархота А.В., Бородина C.Д., Воскресенская Н.О., Вострикова В.В., Квасов А.С., Кожевников Е.В., Козлова Е.А., Кривцова Н.С., Мурашова Е.М., Родина Г.А., ...
(ЮНИТИ-ДАНА)