Плазменное оборудование для нанотехнологий. Учебное пособие
Об издании
Приведены теоретические сведения о процессах плазменного получения покрытий, описание вакуумного и плазменного оборудования, применяемого для получения наноструктурированных покрытий, отечественного и зарубежного производства, технологические характеристики оборудования. Предназначено для магистров направлений подготовки 28.04.02 «Наноинженерия» и 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Подготовлено на кафедре плазмохимических и нанотехнологий высокомолекулярных материалов.
Библиографическая запись
Гребенщикова М.М. Плазменное оборудование для нанотехнологий : учебное пособие / Гребенщикова М.М., Миронов М.М.. — Казань : Издательство КНИТУ, 2022. — 96 c. — ISBN 978-5-7882-3285-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/136179.html (дата обращения: 12.02.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Батырова Д.Ж., Рыжкин В.О.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Борисенко В.Е., Воробьева А.И., Данилюк А.Л., Уткина Е.А.
(Лаборатория знаний)
Озерянский В.А., Клецкий М.Е., Буров О.Н.
(Лаборатория знаний)
Алексеев Г.В., Вороненко Б.А., Гончаров М.В., Сергачева Е.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Козлова Е.И., Титова О.В.
(Липецкий государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Чатоян С.К., Лукашин А.А., Заборовский В.С., Нашивочников Н.В.
(Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого)
Завражнов А.И., Ведищев С.М., Глазков Ю.Е., Прохоров А.В., Хольшев Н.В., Рогожкин А.С.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Волосникова Г.А., Черенцова А.А.
(Инфра-Инженерия)