Основы конструирования вакуумных плазменных установок. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основные понятия вакуумной техники, а также характеристики вакуумных насосов, необходимые для проектирования и расчета вакуумных плазменных установок. Даны примеры определения параметров потоков газа и плазмы в вакууме. Приведены характеристики ряда промышленных и лабораторных установок, предназначенных для ионно-плазменной обработки изделий. Для студентов старших курсов технических университетов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием вакуумно-плазменных систем.
Библиографическая запись
Марахтанов, М. К. Основы конструирования вакуумных плазменных установок : учебное пособие / М. К. Марахтанов, Д. В. Духопельников, Е. В. Воробьев ; под редакцией А. Б. Ивашкина. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2014. — 94 c. — ISBN 978-5-7038-4029-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/136707.html (дата обращения: 20.02.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Седова Н.А., Седов В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
