Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств. Учебное пособие

Об издании

Изложены основные понятия, относящиеся к науке о строении и свойствах сегнетоэлектрических материалов. Рассмотрены примеры применения и перспективы использования сегнетоэлектрических пленок в интегрированных устройствах современной микроэлектроники, а также основные тенденции развития материалов и технологий в этой области. Подробно рассмотрены вопросы формирования и визуализации структуры многослойных композиций на основе тонких пленок и границ раздела пленка – подложка на атомном уровне с помощью методов электронной микроскопии и моделирования изображений высокого разрешения, а также принципы создания наноструктур в пористых матрицах. Издание иллюстрирует возможности применения методов современного структурного анализа к исследованию и визуализации микро- и наносистем. Для магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Пособие может быть полезно аспирантам, научным и инженерно-техническим работникам, специализирующимся в области материаловедения тонкопленочных материалов.

Библиографическая запись

Жигалина, О. М. Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств : учебное пособие / О. М. Жигалина. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2017. — 124 c. — ISBN 978-5-7038-4743-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/136852.html (дата обращения: 28.02.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей