Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов
Библиографическая запись
Данилина, Т. И. Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. — 96 c. — ISBN 978-5-91191-202-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/13950.html (дата обращения: 30.11.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Седова Н.А., Седов В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Воличенко О.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Сулакшин С.С., Погорелко М.Ю., Репин И.В.
(Научный эксперт)
Багдасарян В.Э., Абдулаев Э.Н., Клычников В.М., Ларионов А.Э.
(Научный эксперт)
Литвинюк Т.А., Хашева З.М.
(Южный институт менеджмента)
Балабанов П.И., Красноперова Я.Н., Григорьянц Т.А., Киселева В.А., Марков В.И., Мартынов А.И., Кулемзин А.М.
(Кемеровский государственный институт культуры)
Балабанов П.И., Красноперова Я.Н., Григорьянц Т.А., Киселева В.А., Марков В.И., Мартынов А.И., Кулемзин А.М.
(Кемеровский государственный институт культуры)
