Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие
Об издании
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микро-электронного направления и широкого круга читателей.
Библиографическая запись
Гридчин, А. В. Введение в современную микро- и наносистемную технику : учебное пособие / А. В. Гридчин. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2024. — 232 c. — ISBN 978-5-9729-1613-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/143195.html (дата обращения: 15.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Емельянова А.А., Огородникова О.А., Челнокова А.Ю., Шульгина Д.П., Ртищева Г.А., Щулепникова Е.И., Набокина М.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецова И.В., Напалков С.В., Смирнов Е.И., Тихомиров С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Токманцев Т.Б.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Богомолова Е.В.
(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)
Бакунин С.Н., Барков А.В., Герасимов О.А., Голубцов В.Г., Грудцына Л.Ю., Дерюгина Т.В., Иванова С.А., Иншакова А.О., Камышанский В.П., Коваленко В.М., Комиссарова Е.Г., Коршунов Н.М., Кузнецова О.А.,...
(ЮНИТИ-ДАНА)
Баженова И.Ю., Сухомлин В.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)