Введение в современную микро- и наносистемную технику. Учебное пособие
Об издании
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микро-электронного направления и широкого круга читателей.
Библиографическая запись
Гридчин, А. В. Введение в современную микро- и наносистемную технику : учебное пособие / А. В. Гридчин. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2024. — 232 c. — ISBN 978-5-9729-1613-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/143195.html (дата обращения: 15.09.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Губарь Ю.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кузнецов С.Д.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Савельев А.О.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Ачкасов В.Ю.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Флойд К.С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Городняя Л.В., Березин Н.А.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Флойд К.С.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Фролов В.П., Ефремова М.Г., Пантелеева Т.Л., Посвятенко Ю.В.
(МИСИ-МГСУ, Ай Пи Ар Медиа, ЭБС АСВ)
Горский А.А., Гуськов А.Г., Захаров В.Н., Зезина М.Р., Лисейцев Д.В., Мухин М.Ю., Соловьев К.А., Шамин С.М.
(Наука)
Попонова Н.А.
(Научный консультант)
