Физика импульсного отжига. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены основные области применения импульсного излучения в технологии производства полупроводниковых приборов, физика взаимодействия высокоинтенсивного излучения с твердым телом, типы источников импульсного излучения, методики расчета распределения температуры при проведении импульсного отжига полупроводниковых материалов и приборных структур. Проанализированы основные закономерности изменения характеристик полупроводниковых материалов, многослойных структур, гетероструктур, наноструктур, готовых приборов при использовании операций импульсного отжига в различных режимах. Предназначено для студентов, обучающихся в бакалавриате по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Паничкин, А. В. Физика импульсного отжига : учебное пособие / А. В. Паничкин. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2024. — 196 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/152706.html (дата обращения: 24.07.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Малухина О.А., Вареник К.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Дмитриев В.Г., Куприянов А.И., Перунов Ю.М.
(Инфра-Инженерия)
(Ай Пи Ар Медиа)
Петров Е.В., Коробков С.В.
(Томский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Аристова М.В., Егорова М.С.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Нуралиев Н.А.
(Международный университет Кыргызстана)