Физика импульсного отжига. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены основные области применения импульсного излучения в технологии производства полупроводниковых приборов, физика взаимодействия высокоинтенсивного излучения с твердым телом, типы источников импульсного излучения, методики расчета распределения температуры при проведении импульсного отжига полупроводниковых материалов и приборных структур. Проанализированы основные закономерности изменения характеристик полупроводниковых материалов, многослойных структур, гетероструктур, наноструктур, готовых приборов при использовании операций импульсного отжига в различных режимах. Предназначено для студентов, обучающихся в бакалавриате по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Библиографическая запись
Паничкин, А. В. Физика импульсного отжига : учебное пособие / А. В. Паничкин. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2024. — 196 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/152706.html (дата обращения: 24.07.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Малухина О.А., Вареник К.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Гурьянов Л.В., Гурьянова Л.С., Гришин Е.В., Дзюба Е.А., Самуйлов С.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Аубакирова Г.Е., Бекмухамбетова Ж.К.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Ларькина Е.В., Рябченко Н.В.
(Троицкий мост)
Ruello M.L., Андреев Д.В., Андриянцева С.А., Баканова Е.А., Басов В.И., Безгин А.В., Белелюбский Б.Ф., Бельский С.М., Блинов А.М., Бобылева Н.А., Богатырев К.Н., Богомолова Е.В., Божков А.И., Бондаре...
(Липецкий государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Виноградов П.А., Окуньков Ю.В., Хохлов В.И.
(Издательство «Спорт»)
Наумова Ю.Н.
(Всероссийский государственный университет юстиции (РПА Минюста России))
Абдуллаев Х.Х., Абубакаров А.Г., Аветисян С.Р., Аксенов С.В., Алешин В.А., Алиев И.М., Алихаджиев С.Х., Андреев Е.В., Андрюшин К.П., Андрюшина И.Н., Арустамян Д.А., Ахкубеков А.А., Ахкубекова С.Н., Б...
(Издательство Южного федерального университета)
Агишева А.В., Андреева В.Ю., Белоусова Л.Ф., Бердник Н.А., Боровская М.А., Вавилова А.К., Вакула Н.Н., Володина Т.В., Воробьева Ю., Воронина Е.В., Гасанов Н.Г., Генералова Е.А., Губа А.Е., Давыденко ...
(Издательство Южного федерального университета)