Электротехнология и электрофизика. Ионное легирование арсенида галлия. Монография

Об издании

В издании авторами рассматривается ионное легирование монокристаллического и эпитаксиального арсенида галлия — электрофизический способ изготовления активных — проводящих, изолирующих — высокоомных областей компонентов монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона, обладающий чертами базовой электротехнологии. На современном научном уровне представлены методология, достижения, электрофизика и компьютерное моделирование ионного легирования материалов МИС СВЧ, проблема качества структур арсенида галлия для СВЧ полевых транзисторов, роль процессов кластеризации в электротехнологии ионного легирования и изоляции арсенида галлия. Предложены ионные варианты электротехнологии безрезистной литографии, изготовления СВЧ полевых транзисторов, металлических резисторов и межслойных конденсаторов, датчиков, способы ионно-лучевой защиты поверхности микроэлектронных изделий от внешних и химических воздействий, ионно-модифицированные аналоги драгоценных металлов для монолитных СВЧ-устройств. Монография предназначена для ученых специальности «Электротехнология и электрофизика» и инженеров-разработчиков МИС СВЧ, а также студентов укрупненной группы специальностей и направлений подготовки «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии» и всех, кто интересуется СВЧ-приборами.

Библиографическая запись

Перинский, В. В. Электротехнология и электрофизика. Ионное легирование арсенида галлия : монография / В. В. Перинский, И. В. Перинская. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2025. — 233 c. — ISBN 978-5-4497-4662-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/153875.html (дата обращения: 08.09.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей