Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Библиографическая запись
Родионов, Ю. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Ю. А. Родионов. — 2-е изд. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2025. — 352 c. — ISBN 978-5-9729-2209-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/154777.html (дата обращения: 24.09.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Глебов В.В., Шурыгин А.Ю., Кангин М.В., Егоров М.Е., Кангин Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Черепахин А.А., Агеев Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Соколова Э.Д.
(Юриспруденция)
Баринов Н.А., Барышев С.А., Бевзюк Е.А., Беляев М.А., Бирюкова Т.А., Вахрушева Ю.Н., Долотина Р.Р., Елизарова Н.В., Закиров Р.Ю., Захарова Н.А., Иванишин П.З., Морозов С.Ю., Михалева Т.Н....
(Ай Пи Ар Медиа)
Вармунд В.В., Голышев В.Г., Голышева А.В., Ефимова О.В., Левушкин А.Н., Свирин Ю.А., Свит Ю.П., Ситдикова Л.Б., Стародумова С.Ю....
(Прометей)
Сичкарев Д.В., Горевая Е.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
Казаринов И.А.
(Издательство Саратовского университета)
Малько А.В., Саломатин А.Ю., Гук П.А., Гуляков А.Д., Макеева Н.В., Петров Д.Е., Суменков С.Ю., Терехин В.А., Фомин А.А., Шишкин А.Д....
(Юридический центр Пресс)
