Эпитаксия микро- и наноструктур. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются физические основы эпитаксии, в частности эффекты, возникающие при несоответствии кристаллических решеток эпитаксиального слоя и подложки; дефектообразование; способы снижения плотности пронизывающих дислокаций; получение нанообъектов разной размерности.
Библиографическая запись
Илюшин В.А. Эпитаксия микро- и наноструктур : учебное пособие / Илюшин В.А.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2024. — 135 c. — ISBN 978-5-7782-5180-9. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/155449.html (дата обращения: 21.03.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Мишина Е.Д., Шерстюк Н.Э., Евдокимов А.А., Вальднер В.О., Григорьев С.А., Долгова Т.В., Дроздова Н.М., Ежов А.А., Ершова Н.И., Лускинович П.Н., Панов В.И., Свитов В.И., Семин С.В., Стогний А.И., Федя...
(Лаборатория знаний)
Гридчин А.В.
(Новосибирский государственный технический университет)
Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Шарко С.А., Серокурова А.И.
(Белорусская наука)
Калинин С.В., Черкаев А.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
Калинин С.В., Черкаев А.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
Шведова М.А., Артамонова О.В.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Тополь Э.
(Альпина Паблишер)
Носенко Д.И., Золотарёв А.П., Уймин А.Г., Дегтярев С.С., Ефименко Т.И., Морозов И.М., Шальнев В.В.
(Профобразование)
Иванков А.Н., Иванкова Л.Н.
(Профобразование)
