Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях. Ч.2. Модификация материалов. Учебное пособие
Об издании
В пособии рассмотрены плазменно-пучковые технологии, применяемые для модификации и синтеза материалов, основные принципы построения и типы источников ионов и электронов, генераторов плазмы, а также технологических процессов, реализуемых с использованием этих устройств. Учебное пособие может быть использовано аспирантами и студентами, обучающимися на физических специальностях, в том числе на курсах «Плазменно-пучковые технологии», «Взаимодействие излучения с веществом», «Электрофизические методы обработки материалов», «Актуальные проблемы современной электроники больших мощностей». Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлениям 11.03.04, 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», аспирантов и научных работников.
Библиографическая запись
Каменецких, А. С. Плазменно-пучковые технологии. В 2 частях. Ч.2. Модификация материалов : учебное пособие / А. С. Каменецких, А. С. Кайгородов ; под редакцией С. О. Чолаха. — Екатеринбург : Издательство Уральского университета, 2024. — 132 c. — ISBN 978-5-7996-3866-5 (ч.2), 978-5-7996-3822-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/161377.html (дата обращения: 18.05.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Плешивцев А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Васькина Т.И., Семышев М.В., Поцепай С.Н.
(Профобразование)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)