Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.
Библиографическая запись
Духопельников, Д. В. Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение : учебное пособие / Д. В. Духопельников. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2014. — 56 c. — ISBN 978-5-7038-3798-6. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30887.html (дата обращения: 20.08.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Плешивцев А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Федорова Т.В.
(Российский государственный университет правосудия имени В.М. Лебедева)
Седова Н.А., Седов В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Носенко Д.И., Золотарёв А.П., Уймин А.Г., Дегтярев С.С., Ефименко Т.И., Морозов И.М., Шальнев В.В.
(Профобразование)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Никитина Г.А., Иванова Я.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
