Лазеры в микроэлектронике. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка полупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».
Библиографическая запись
Малов, И. Е. Лазеры в микроэлектронике : учебное пособие / И. Е. Малов, И. Н. Шиганов. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2012. — 77 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/31437.html (дата обращения: 29.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Калинин С.В., Черкаев А.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
Калинин С.В., Черкаев А.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
Варданян В.А.
(Профобразование)
Никитенко А.Г., Черненко А.А.
(Сибирский государственный университет водного транспорта)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Уймин А.Г.
(Российский государственный университет нефти и газа (НИУ) имени И.М. Губкина)
Кузьменко И.В.
(Брянский государственный аграрный университет)
Евдокимов С.В., Бальзанников М.И., Орлова А.А., Селиверстов В.А.
(Профобразование)
Кузьменко И.В.
(Брянский государственный аграрный университет)