Физические основы микро- и нанотехнологий. Учебное пособие
Об издании
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».
Библиографическая запись
Физические основы микро- и нанотехнологий : учебное пособие / С.П. Бычков [и др.].. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2009. — 175 c. — ISBN 978-5-7038-3319-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/31583.html (дата обращения: 21.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Братановский С.Н., Зинчук Г.М., Капитанец Ю.В., Соцков В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Зима Т.М.
(Новосибирский государственный технический университет)
Аникеева А.Е., Елистратова И.Б.
(Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики)
Томина Н.Н., Максимов Н.М., Тыщенко В.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Косырев К.А., Руденко А.В.
(Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»)
Вавилов В.Д., Тимошенков С.П., Тимошенков А.С.
(Техносфера)
Малюков С.П., Саенко А.В., Клунникова Ю.В., Палий А.В.
(Издательство Южного федерального университета)