Физические основы микро- и нанотехнологий. Учебное пособие
Об издании
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».
Библиографическая запись
Физические основы микро- и нанотехнологий : учебное пособие / С. П. Бычков, В. П. Михайлов, Ю. В. Панфилов, Ю. Б. Цветков ; под редакцией Ю. Б. Цветков. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2009. — 175 c. — ISBN 978-5-7038-3319-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/31583.html (дата обращения: 24.02.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Сергеев И.Ю., Латышенко К.П., Шмырева М.Б., Николаев Г.А., Бояринова С.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Яблонская Л.В., Лютикова М.Н., Ботнарь Л.В., Верисова А.Д.
(Ай Пи Ар Медиа)
Морозова О.Н., Евенко Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Черепахин А.А., Лялякин В.П.
(Профобразование)
