Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Об издании
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические соединения металлов или полупроводников с азотом, кислородом или углеродом. Этот процесс уже широко распространен в электронной промышленности и в других отраслях, где используется нанесение покрытий. В книге обобщено современное состояние этого процесса, приведена обширная библиография. Представлено подробное описание физических процессов, протекающих во время реактивного магнетронного нанесения, и следующих из них технологических особенностей магнетронного нанесения. Особое внимание уделено способам управления процессами реактивного магнетронного нанесения тонких плёнок, обеспечивающих стабильность и воспроизводимость как самого процесса нанесения, так и свойств получаемых пленок. Описаны изменения состава и структуры получаемых пленок и их зависимость от параметров процесса нанесения. Приведена широкая номенклатура получаемых этим способом пленок сложного состава. Рассмотрены модификации этого процесса, различающиеся используемыми источниками питания: постоянного тока, среднечастотных импульсов, импульсов большой мощности и ВЧ. Даны практические рекомендации по освоению известных и разработке новых процессов получения пленок сложного состава методом реактивного магнетронного распыления. Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.
Библиографическая запись
Берлин Б.В. Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением / Берлин Б.В., Сейдман Л.А.. — Москва : Техносфера, 2014. — 256 c. — ISBN 978-5-94836-369-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/31877.html (дата обращения: 22.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Медведев Н.Н.
(Новосибирский государственный университет)
Дресвянников А.Ф., Межевич Ж.В.
(Инфра-Инженерия)
Зайцев А.Н.
(Инфра-Инженерия)
Грабов В.М., Демидов Е.В., Комаров В.А., Крушельницкий А.Н., Суслов А.В., Герега В.А.
(Издательство РГПУ им. А. И. Герцена)
Липатов Г.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
Пильщиков В.А., Пимерзин Ал.А., Пимерзин А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Емельянычева Е.А., Абдуллин А.И., Петров С.М.
(Издательство КНИТУ)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Руднев В.Н.
(Российский новый университет)
Галицких Е.О., Карпов И.П., Григорьева Л.П., Загвоздкина Т.Е., Поздеев В.А., Дунаевская И.К., Мельникова Л.А.
(Вятский государственный гуманитарный университет)
