Основы технологии материалов микроэлектроники. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Каменская А.В. Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие / Каменская А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2010. — 96 c. — ISBN 978-5-7782-1420-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45129.html (дата обращения: 01.05.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Плешивцев А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Альжанова Э.Е.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Ефимова А.В., Леман М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Данилин А.В., Слюсаренко А.И.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Гримашевич О.Н., Матушкин М.А., Уманская М.В., Подсумкова Л.А., Казакова Н.В., Славнецкова Л.В., Хачатрян Г.А., Чистякова С.В., Мухина И.В., Сарасеко Е.С., Трегубов В.Н., Пузанова Е.А., Горячева И.А....
(Ай Пи Ар Медиа)
Добрица В.П., Кулешова Е.А., Халин Ю.А.
(Инфра-Инженерия)
Маликов Р.Ф., Усманова А.Р.
(Инфра-Инженерия)
Турупалов В.В., Андриевская Н.К., Мартыненко Т.В., Хрюкин Е.А.
(Инфра-Инженерия)
Фокина С.И., Выволокина А.В., Гарькушев А.Ю., Липис А.В.
(Инфра-Инженерия)