Основы технологии материалов микроэлектроники. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Каменская А.В. Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие / Каменская А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2010. — 96 c. — ISBN 978-5-7782-1420-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45129.html (дата обращения: 29.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Емельянова А.А., Огородникова О.А., Челнокова А.Ю., Шульгина Д.П., Ртищева Г.А., Щулепникова Е.И., Набокина М.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Кудрявцева О.В.
(Астраханский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Старостин А.А., Лаптева А.В.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Савиных Ю.В., Прозорова И.В.
(Инфра-Инженерия)
Мангушев Р.А., Парамонов М.В., Квашук А.В., Башмаков И.Б.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Кокаревич М.Н., Ланкин В.Г., Шаповалова-Гупал Т.А.
(Томский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Кириенко О.Э., Якимчак А.А.
(Донецкая академия управления и государственной службы)