Основы технологии материалов микроэлектроники. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Каменская А.В. Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие / Каменская А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2010. — 96 c. — ISBN 978-5-7782-1420-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45129.html (дата обращения: 18.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Емельянова А.А., Огородникова О.А., Челнокова А.Ю., Шульгина Д.П., Ртищева Г.А., Щулепникова Е.И., Набокина М.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
.jpg)
Симак Р.С., Васильев Д.И., Левкин Г.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Мамардашвили М.К., Пятигорский А.М.
(Прогресс-Традиция)
Решетняк Е.П.
(Саратовский государственный аграрный университет имени Н.И. Вавилова, Вузовское образование)
Аванесова Г.А., Аршинов В.И., Астафьева О.Н., Баранцев Р.Г., Бевзенко Л.Д., Бекарев A.M., Бранский В.П., Буданов В.Г., Бурнашев К.Э., Василенко Л.А., Василькова В.В., Войцехович В.Э., Дахин А.В., Дел...
(Прогресс-Традиция)
Марусина В.И.
(Новосибирский государственный технический университет)