Основы технологии материалов микроэлектроники. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии кратко изложены основные представления о технологических методах и процессах, используемых в производстве основных материалов микроэлектроники. Рассмотрены физические явления и равновесные закономерности, лежащие в основе управления фазовыми и химическими превращениями веществ. Адресовано студентам дневной и заочной форм обучения направлений: 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 – «Нанотехнология» специальностей: 210104 – «Микроэлектроника и твердотельная электроника, 210108 – «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Каменская А.В. Основы технологии материалов микроэлектроники : учебно-методическое пособие / Каменская А.В.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2010. — 96 c. — ISBN 978-5-7782-1420-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45129.html (дата обращения: 07.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Емельянова А.А., Огородникова О.А., Челнокова А.Ю., Шульгина Д.П., Ртищева Г.А., Щулепникова Е.И., Набокина М.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Шамышев А.А., Шамышева О.Н.
(Издательство Владимирского государственного университета)
Николенко О.В., Сомоева С.Р., Бабакова Л.Д., Шаповалова Е.Ю.
(Донской государственный технический университет)
Семёнова Т.Ю., Затевахина А.В., Круглова И.А.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Горский В.Е., Захаркин И.В.
(Издательство «Спорт»)
Гребенникова Н.И., Сергеев М.Ю., Сергеева Т.И.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: