Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны. Учебное пособие

Об издании

Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела. В каждой главе приводятся контрольные вопросы для проверки усвоения материала, темы практических занятий и индивидуальных домашних заданий. Учебное пособие подготовлено по рекомендации горно-металлургической секции PAEН. Соответствует программе курса «Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом». Предназначено для бакалавров и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника».

Библиографическая запись

Кузнецов Г.Д. Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны : учебное пособие / Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2012. — 97 c. — ISBN 978-5-87623-572-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56182.html (дата обращения: 06.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей