IPR SMART / Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Издательство:

Белорусская наука

Авторы:

Достанко А.П., Аваков С.М., Агеев О.А., Батура М.П., Бордусов С.В., Голосов Д.А., Джуплин В.Н., Завадский С.М., Клим О.В., Ланин В.Л., Мадвейко С.И., Мельников С.Н., Петухов И.Б., Ретюхин Г.Е., Русецкий А.М., Титко Д.С., Томаль В.С., Трапашко Г.А., Чередниченко Д.И., Школык С.Б.

Сведения об ответственности:

ред. Достанко А.П.

Год издания:

2016

ISBN:

978-985-08-1993-2

Тип издания:

монография

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

Библиографическая запись

Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники / А. П. Достанко, С. М. Аваков, О. А. Агеев [и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. — Минск : Белорусская наука, 2016. — 252 c. — ISBN 978-985-08-1993-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/61116.html (дата обращения: 26.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей