Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Об издании
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Библиографическая запись
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники / А. П. Достанко, С. М. Аваков, О. А. Агеев [и др.] ; под редакцией А. П. Достанко. — Минск : Белорусская наука, 2016. — 252 c. — ISBN 978-985-08-1993-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/61116.html (дата обращения: 26.04.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хрусталёв В.А., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Богун В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Винокурова А.М., Жданова-Заплесвичко И.Г., Запевалин П.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Грохотов Р.А., Пудовкин М.А.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Штейнбах О.Л.
(Профобразование)
