Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону. Монография
Об издании
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV. Обсуждаются возможности получения различных микро- и наноструктур соединений АIIIВV с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур. Монография адресована магистрам, аспирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и наноструктурой.
Библиографическая запись
Сысоев И.А. Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону : монография / Сысоев И.А., Лунин Л.С.. — Ставрополь : Северо-Кавказский федеральный университет, 2015. — 97 c. — ISBN 978-5-9296-0785-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/62929.html (дата обращения: 16.03.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Афонин Д.Н., Афонин П.Н.
(Интермедия)
Жаныс А.Б.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Мишина Е.Д., Шерстюк Н.Э., Евдокимов А.А., Вальднер В.О., Григорьев С.А., Долгова Т.В., Дроздова Н.М., Ежов А.А., Ершова Н.И., Лускинович П.Н., Панов В.И., Свитов В.И., Семин С.В., Стогний А.И., Федя...
(Лаборатория знаний)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Трофимова И.А.
(Российский государственный университет правосудия)
Агамагомедова С.А., Винокуров А.Ю., Волкова В.В., Грешнова Г.В., Зюзин В.А., Калинина Л.Е., Климович Е.В., Козырева Т.В., Лупарев Е.Б., Нобель А.Р., Подейко В.А., Плешевеня О.В., Стахов А.И., Трофимо...
(Российский государственный университет правосудия имени В.М. Лебедева)
Анисимов А.А., Демидова О.В., Заряев В.А., Жаглин А.В., Иванченко Р.Б., Миненко П.В., Романенко Е.А., Тисленко Д.И.
(Российский государственный университет правосудия имени В.М. Лебедева)
Пискунова Е.В.
(Российский государственный университет правосудия имени В.М. Лебедева)
Богданова М.В., Паршинцева Л.С.
(Российский государственный университет правосудия имени В.М. Лебедева)
Воронцов Д.О., Колотушкин С.М., Кузовлева О.В., Моисеева Т.Ф., Пискунова Е.В., Саакова С.А., Устинов В.В., Шагов Е.М.
(Российский государственный университет правосудия)
Брадецкая И.Г., Фысина У.Н.
(Российский государственный университет правосудия имени В.М. Лебедева)