Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону. Монография
Об издании
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV. Обсуждаются возможности получения различных микро- и наноструктур соединений АIIIВV с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур. Монография адресована магистрам, аспирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и наноструктурой.
Библиографическая запись
Сысоев И.А. Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону : монография / Сысоев И.А., Лунин Л.С.. — Ставрополь : Северо-Кавказский федеральный университет, 2015. — 97 c. — ISBN 978-5-9296-0785-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/62929.html (дата обращения: 19.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Афонин Д.Н., Афонин П.Н.
(Интермедия)
Жаныс А.Б.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Петрянкин Ф.П., Лаврентьев А.Ю., Шерне В.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Ермина М.А., Ермин Д.А.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Дейнека А.В., Жуков Б.М.
(Академия Естествознания, Южный институт менеджмента)
Байтулин И.О.
(Всемирный фонд дикой природы (WWF))
Атаров Н.М., Варданян П.С., Горшков Д.А., Леонтьев А.Н.
(Московский государственный строительный университет, ЭБС АСВ)
