Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2016. — 384 c. — ISBN 978-985-503-627-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/67660.html (дата обращения: 31.07.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Богун В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
Итала Э.
(Медицинская литература)
Антипова Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Кельх Г.Г., Мелнис В.А., Иголкин Н.В., Широкова Р.О.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Румянцева Т.А., Галанин Н.Е.
(Инфра-Инженерия)
Гриценко Л.В., Ефименко В.Н., Костецкая Г.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Хорхордин А.В., Волуева О.С., Турупалов В.В.
(Инфра-Инженерия)
Смирнова Н.А., Суханов А.А.
(Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого)
Возняк Е.Р., Алиевский С.Д.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Возняк Е.Р.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)