Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2016. — 384 c. — ISBN 978-985-503-627-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/67660.html (дата обращения: 31.07.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Богун В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
Итала Э.
(Медицинская литература)
Алимов А.А.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Ермина М.А., Ермин Д.А.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Демина И.Д., Одегова Н.А.
(Вузовское образование)
Князькина Е.В., Хайруллин М.Ф.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Дедов Н.И., Глазунова Н.А., Адеянов И.Е., Исуткина В.Н.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Султанова Р.Б., Рахматуллин Р.Р., Бабаев В.М., Николаев В.Ф.
(Казанский национальный исследовательский технологический университет)
