Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элементы – аппаратные и программные интерфейсы, пути организации данной связи с целью снижения аппаратных интерфейсов. Отдельные главы посвящены надежности и техническому диагностированию, обслуживанию и ремонту мехатронных систем. Предназначено для учащихся учреждений среднего специального образования, обучающихся по специальности «Мехатроника» (специализация «Мехатроник 5-го разряда (радиоэлектронное производство)»).
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники : учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2016. — 384 c. — ISBN 978-985-503-627-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/67660.html (дата обращения: 31.07.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Богун В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
Итала Э.
(Медицинская литература)
Алимов А.А.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Кальмова М.А., Муморцев А.Н., Ахмедов А.Д.
(Самарский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
.jpg)
Аникеев С.В., Найденков О.Н., Собурь С.В.
(ПожКнига)
.jpg)
Аникеев С.В., Найденков О.Н., Собурь С.В.
(ПожКнига)
Иванов В.А., Кузьмин С.В., Волынец И.Г., Михаленко С.В.
(Инфра-Инженерия)
Терехова С.А.
(Волгоградский государственный социально-педагогический университет, «Перемена»)
Синицына И.В., Боровко Л.В.
(Невинномысский государственный гуманитарно-технический институт)