Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления. Лабораторный практикум
Об издании
Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок. Цель лабораторного практикума – приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» по программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники».
Библиографическая запись
Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления : лабораторный практикум / Ю.Н. Пархоменко [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2017. — 54 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/78558.html (дата обращения: 26.04.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Картель А.Ю., Арзамасцев А.Г., Ярцев А.Г.
(Липецкий государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Каплунов И.А., Иванова А.И., Третьяков С.А.
(Тверской государственный университет)
Яльцев В.Н., Скрытный В.И.
(Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»)
Саргсян С.В.
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)
Забелин А.Н.
(Издательский Дом МИСиС)
Белов Н.Н., Югов Н.Т., Пляскин А.С., Рышков А.В., Усеинов Э.С., Югов А.А.
(Томский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Клунникова Ю.В., Аникеев М.В.
(Издательство Южного федерального университета)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перхуткин В.П., Перхуткина З.И., Овчарук Т.А., Недух Е.Н., Панюкова М.Л.
(Инфра-Инженерия)