Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления. Лабораторный практикум

Издательство:
Издательский Дом МИСиС
Авторы:
Пархоменко Ю.Н., Антипов В.В., Жуков Р.А., Кугаенко О.М., Петраков В.С.
Год издания:
2017
ISSN:
2227-8397
Тип издания:
практикум
DOI:

Об издании

Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок. Цель лабораторного практикума – приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» по программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники».

Библиографическая запись

Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления : лабораторный практикум / Ю.Н. Пархоменко [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2017. — 54 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/78558.html (дата обращения: 18.07.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия