Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы). Учебное пособие

Об издании

Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.

Библиографическая запись

Груздов В.В. Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ электронике (лабораторные работы) : учебное пособие / Груздов В.В., Колковский Ю.В., Концевой Ю.А.. — Москва : Техносфера, 2017. — 96 c. — ISBN 978-5-94836-471-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/84681.html (дата обращения: 05.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей