Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Данное издание доступно Вам взамен изданию «Технологические процессы в микро- и наноэлектронике» издательства «Инфра-Инженерия».
Замена издания связана с окончанием срока лицензии и невозможностью продления прав, а также с появлением в базе более актуального издания по данной тематике.
Об издании
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Библиографическая запись
Родионов, Ю. А. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / Ю. А. Родионов. — 2-е изд. — Москва, Вологда : Инфра-Инженерия, 2025. — 352 c. — ISBN 978-5-9729-2209-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/154777.html (дата обращения: 24.09.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Глебов В.В., Шурыгин А.Ю., Кангин М.В., Егоров М.Е., Кангин Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Черепахин А.А., Агеев Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Матвиенко Л.М., Сысоева Н.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Головицына М.В.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Е.И.
(ПЕР СЭ, Ай Пи Ар Медиа)
Минин А.Я.
(Московский педагогический государственный университет)
Денисова Т.А.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Волков В.И., Волков Н.В.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Ермошкин Ю.В., Цаповская О.Н.
(Ульяновский государственный аграрный университет им. П.А. Столыпина)
Коннова М.Н.
(Балтийский федеральный университет им. Иммануила Канта)