Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии. Учебное пособие
Об издании
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Светличный А.М. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А.М., Житяев И.Л.. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2017. — 104 c. — ISBN 978-5-9275-2395-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/87516.html (дата обращения: 14.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Глебов В.В., Шурыгин А.Ю., Кангин М.В., Егоров М.Е., Кангин Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Ежова В.А.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Краковецкая И.В.
(Новосибирский государственный университет экономики и управления «НИНХ»)
Крайнова О.С.
(Вузовское образование)
Царев В.В., Кантарович А.А., Черныш В.В.
(ЮНИТИ-ДАНА)
Криворотов В.В., Калина А.В., Ерыпалов С.Е.
(ЮНИТИ-ДАНА)
Никитина Е.А., Гавриловская С.П., Хлебенских Л.В.
(Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова, ЭБС АСВ)
Мокроносов А.Г., Маврина И.Н.
(Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ)