Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии. Учебное пособие
Об издании
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Светличный А.М. Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / Светличный А.М., Житяев И.Л.. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2017. — 104 c. — ISBN 978-5-9275-2395-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/87516.html (дата обращения: 26.02.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Глебов В.В., Шурыгин А.Ю., Кангин М.В., Егоров М.Е., Кангин Е.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Черепахин А.А., Агеев Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Бекманн Ч., Линг Ф., Баржански Б., Бейтс У., Герберт У., Лаубе Д., Смит Р.
(Медицинская литература, Профобразование)
(1).jpg)
Козлова А.Т., Рабинович К.А., Степанова Д.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Макаров И.В., Шибанов В.Я., Безрукова М.А., Ладонин С.В., Бондарева Д.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Гильмиярова Ф.Н., Гусякова О.А., Кузнецова О.Ю., Селезнева И.А., Балдина О.А., Горбачева И.В., Козлов А.В., Габрильчак А.И., Халиулин А.В., Ерещенко А.А., Жданова А.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
.jpg)
Емельянова Л.В., Пируева Е.Е., Сорокина М.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
.jpg)
Емельянова Л.В., Пируева Е.Е., Сорокина М.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
