Лазеры в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
Библиографическая запись
Лазеры в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / С.П. Малюков [и др.].. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 111 c. — ISBN 978-5-9275-3083-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/87722.html (дата обращения: 05.06.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Гридчин А.В.
(Новосибирский государственный технический университет)
Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Шарко С.А., Серокурова А.И.
(Белорусская наука)
Калинин С.В., Черкаев А.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
Калинин С.В., Черкаев А.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Кочкуров Л.А., Хороводова Н.Ю., Кондратов Д.В.
(Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ)
Горский А.А., Гуськов А.Г., Захаров В.Н., Зезина М.Р., Лисейцев Д.В., Мухин М.Ю., Соловьев К.А., Шамин С.М.
(Наука)
Битюков В.К., Симачков Д.С., Бабенко В.П.
(Инфра-Инженерия)
