Лазеры в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
Библиографическая запись
Лазеры в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / С.П. Малюков [и др.].. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 111 c. — ISBN 978-5-9275-3083-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/87722.html (дата обращения: 19.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Шарко С.А., Серокурова А.И.
(Белорусская наука)
Шведова М.А., Артамонова О.В.
(Инфра-Инженерия)
Лыкин А.В., Фролов М.Ю.
(Новосибирский государственный технический университет)
Варданян В.А.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Сергеев М.Ю., Гребенникова Н.И., Сергеева Т.И.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Никитенко А.Г., Черненко А.А.
(Сибирский государственный университет водного транспорта)
Волков М.А., Постыляков А.Ю., Исаков Д.В.
(Инфра-Инженерия)