Лазеры в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
Библиографическая запись
Лазеры в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / С.П. Малюков [и др.].. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 111 c. — ISBN 978-5-9275-3083-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/87722.html (дата обращения: 25.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Шарко С.А., Серокурова А.И.
(Белорусская наука)
Шведова М.А., Артамонова О.В.
(Инфра-Инженерия)
Лыкин А.В., Фролов М.Ю.
(Новосибирский государственный технический университет)
Варданян В.А.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Мэйволд Э.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Кроль Л.
(Альпина Паблишер)
Варданян В.А.
(Профобразование)
Ряжских В.И., Ряжских А.В., Соболева Е.А.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)