Лазеры в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
Библиографическая запись
Лазеры в микро- и наноэлектронике : учебное пособие / С.П. Малюков [и др.].. — Ростов-на-Дону, Таганрог : Издательство Южного федерального университета, 2018. — 111 c. — ISBN 978-5-9275-3083-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/87722.html (дата обращения: 05.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Шарко С.А., Серокурова А.И.
(Белорусская наука)
Шведова М.А., Артамонова О.В.
(Инфра-Инженерия)
Лыкин А.В., Фролов М.Ю.
(Новосибирский государственный технический университет)
Варданян В.А.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Михайлова Т.В.
(Всероссийский государственный университет кинематографии имени С.А. Герасимова (ВГИК))
Никола М.И., Сомова Е.В., Черноземова Е.Н., Булашова Н.М., Дремов М.А., Кузнецова А.И., Новокрещенных И.А., Попова А.В., Соболева Н.В., Чагина А.П., Чернова Ю.В., Ветивер М.М....
(Прометей)
Курченко Н.С., Алексейцев А.В., Арленинов П.Д.
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)
Глотова Г.Н., Позолотина В.А.
(Рязанский государственный агротехнологический университет имени П.А. Костычева)
Ладыженская Т.П., Лабужская Т.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
Курченко Н.С., Шапошникова Ю.А., Кудяков К.Л.
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: