Микроэлектромеханика. Учебное пособие
Об издании
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания, код проекта 629, тема проекта: «Теория построения и практическая реализация широкополосных микроволновых устройств, предназначенных для использования в измерительном оборудовании цифровых систем телевидения, связи и телекоммуникаций, включая вычислительные системы».
Библиографическая запись
Остертак Д.И. Микроэлектромеханика : учебное пособие / Остертак Д.И.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2016. — 121 c. — ISBN 978-5-7782-2901-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/91603.html (дата обращения: 19.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Сандермоен Ш., Адизес И.
(Альпина Паблишер)
Ющубе С.В., Тарасов А.А.
(Томский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Мальцев А.В., Савинова Е.В., Попов Д.В.
(Профобразование)
Бахарев В.В.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Шелушенина О.Н., Добросотских И.И., Синельникова С.Н., Ведерников А.С.
(Профобразование)
Мальцев А.В., Савинова Е.В., Попов Д.В.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)