МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
Об издании
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологического оборудования для реализации МОСГЭ и методов контроля роста эпитаксиальных слоев in situ, затронуты вопросы моделирования процессов. Практические аспекты реализации метода подробно рассмотрены на примере формирования эпитаксиальных структур полупроводников AIIIBV, AIIBVI и твердых растворов на их основе – основных материалов современной оптоэлектроники и ИК-техники. Значительное внимание уделено формированию наноразмерных эпитаксиальных структур и гетероструктур на основе нитридов элементов III группы, технология которых получила стремительное развитие в последние годы. Рассмотрены вопросы адаптации метода МОСГЭ к получению ряда новых материалов электронной техники. Книга предназначена специалистам в области технологии полупроводниковых материалов, может быть полезна аспирантам и студентам соответствующих специальностей.
Библиографическая запись
Акчурин, Р. Х. МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники / Р. Х. Акчурин, А. А. Мармалюк. — Москва : Техносфера, 2018. — 488 c. — ISBN 978-5-94836-521-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/93364.html (дата обращения: 14.03.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Емельянова А.А., Огородникова О.А., Челнокова А.Ю., Шульгина Д.П., Ртищева Г.А., Щулепникова Е.И., Набокина М.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Акутина А.Н., Акутина С.П., Ананченко Е.В., Атласова А.Д., Барахсанова Е.А., Бассара Ч., Батаков Б.Л.
(Вятский государственный гуманитарный университет)
Суминов И.В., Белкин П.Н., Эпельфельд А.В., Людин В.Б., Крит Б.Л., Борисов A.M.
(Техносфера)
Суминов И.В., Белкин П.Н., Эпельфельд А.В., Людин В.Б., Крит Б.Л., Борисов A.M.
(Техносфера)
Пугачёв В.П.
(Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова)
Иванов Ю.И., Голик А.С., Мамонтов А.С., Бесперстов Д.А.
(Кемеровский технологический институт пищевой промышленности)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: