IPR SMART / Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Чтение online

Недоступно

Рейтинг издания

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Учебно-методическое пособие

Издательство:

Издательский Дом МИСиС

Авторы:

Рабинович О.И., Крутогин Д.Г., Подгорная С.В., Маренкин С.Ф.

Год издания:

2015

ISSN:

2227-8397

Тип издания:

учебно-методическое пособие

DOI:

не присвоен узнать подробнее

Об издании

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.

Библиографическая запись

Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учебно-методическое пособие / О.И. Рабинович [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2015. — 89 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/97909.html (дата обращения: 17.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей