Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
Библиографическая запись
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учебно-методическое пособие / О.И. Рабинович [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2015. — 89 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/97909.html (дата обращения: 23.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Волков А.А.
(Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова)
Садовничий В.А., Сулимов В.Б., Зеленков Ю.А.
(Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова)
