Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
Библиографическая запись
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учебно-методическое пособие / О.И. Рабинович [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2015. — 89 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/97909.html (дата обращения: 20.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Титов С.В.
(Профобразование)
(Ай Пи Ар Медиа)
Ермина М.А., Ермин Д.А.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Бочкарева Н.А., Елизарова Н.В., Захарова Ю.Б., Коржов В.Ю., Хлистун Ю.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Борисова Л.Р., Светлова Н.И., Седых И.Ю.
(Прометей)
Слепенкова О.А., Захарова Ю.Б.
(Ай Пи Эр Медиа)