Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
Библиографическая запись
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учебно-методическое пособие / О.И. Рабинович [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2015. — 89 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/97909.html (дата обращения: 21.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Зима Т.М.
(Новосибирский государственный технический университет)
Аникеева А.Е., Елистратова И.Б.
(Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики)
Вавилов В.Д., Тимошенков С.П., Тимошенков А.С.
(Техносфера)
Малюков С.П., Саенко А.В., Клунникова Ю.В., Палий А.В.
(Издательство Южного федерального университета)
Достанко А.П., Аваков С.М., Агеев О.А., Батура М.П., Бордусов С.В., Голосов Д.А., Джуплин В.Н., Завадский С.М., Клим О.В., Ланин В.Л., Мадвейко С.И., Мельников С.Н., Петухов И.Б., Ретюхин Г.Е., Русец...
(Белорусская наука)
