Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий. Учебно-методическое пособие
Об издании
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.
Библиографическая запись
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий : учебно-методическое пособие / О.И. Рабинович [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2015. — 89 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/97909.html (дата обращения: 07.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Николенко О.В., Сомоева С.Р., Бабакова Л.Д., Шаповалова Е.Ю.
(Донской государственный технический университет)
Горский В.Е., Захаркин И.В.
(Издательство «Спорт»)
Иванов Ю.И., Голик А.С., Мамонтов А.С., Бесперстов Д.А.
(Кемеровский технологический институт пищевой промышленности)
Конюков А.Г.
(Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
(Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: