Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций. Курс лекций
Об издании
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярно-пучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма. Приводятся примеры создания микро- и наноразмерных приборов микросистемной техники с использованием ионных процессов. Содержание курса лекций соответствует программе. Предназначен для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».
Библиографическая запись
Кузнецов Г.Д. Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций : курс лекций / Кузнецов Г.Д., Симакин С.Б., Демченкова Д.Н.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2008. — 191 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98081.html (дата обращения: 26.02.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Мишина Е.Д., Шерстюк Н.Э., Евдокимов А.А., Вальднер В.О., Григорьев С.А., Долгова Т.В., Дроздова Н.М., Ежов А.А., Ершова Н.И., Лускинович П.Н., Панов В.И., Свитов В.И., Семин С.В., Стогний А.И., Федя...
(Лаборатория знаний)
Кузнецов Н.Т., Новоторцев В.М., Жабрев В.А., Марголин В.И.
(Лаборатория знаний)
Гридчин А.В.
(Новосибирский государственный технический университет)
Стогний А.И., Новицкий Н.Н., Шарко С.А., Серокурова А.И.
(Белорусская наука)
Калинин С.В., Черкаев А.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
Калинин С.В., Черкаев А.С.
(Новосибирский государственный технический университет)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Варданян В.А.
(Профобразование)
Шамин А.А.
(Инфра-Инженерия)
Пылов П.А., Майтак Р.В., Дягилева А.В.
(Инфра-Инженерия)
Каплунов И.А., Иванова А.И., Третьяков С.А.
(Тверской государственный университет)