Основы технологии электронной компонентной базы. Практикум

Об издании

Содержит описание трех практических занятий, в которых изучаются такие процессы создания приборных структур наноэлектроники, как термическое окисление, диффузия и ионная имплантация. Ставит перед собой задачи объяснить физическую сущность используемых в микро- и наноэлектронике технологических процессов, научить комплексному научному подходу к выбору методов и процессов формирования электронной компонентной базы, а также освоить методики расчета параметров технологических процессов. Результатом обучения должно быть приобретение компетенций по основным базовым процессам технологии для применения их в научных исследованиях, разработке и производстве изделий микро- и наноэлектроники. Практикум является составной частью курса «Основы технологии электронной компонентной базы» для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».

Библиографическая запись

Астахов В.П. Основы технологии электронной компонентной базы : практикум / Астахов В.П., Леготин С.А., Кузьмина К.А.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2016. — 53 c. — ISBN 978-5-87623-964-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98215.html (дата обращения: 05.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей