Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы. Лабораторный практикум

Об издании

Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».

Библиографическая запись

Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы : лабораторный практикум / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2007. — 141 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98226.html (дата обращения: 21.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей