Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы. Лабораторный практикум
Об издании
Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
Библиографическая запись
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы : лабораторный практикум / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2007. — 141 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98226.html (дата обращения: 27.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Варданян В.А.
(Профобразование)
Липуга Р.Н.
(Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, ЭБС АСВ)
Кондратенко Т.О., Полякова Т.В., Халезин С.В., Закиева Н.И., Родионов М.В.
(Донской государственный технический университет)
Сергеев В.А., Фролов И.В., Радаев О.А.
(Ульяновский государственный технический университет)
Мандрыкин А.В., Пахомова Ю.В.
(Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
