Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы. Лабораторный практикум
Об издании
Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
Библиографическая запись
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы : лабораторный практикум / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2007. — 141 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98226.html (дата обращения: 20.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Алексеев С.И.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Ющубе С.В., Тарасов А.А.
(Томский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Кац Н.Г.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Курбатов В. А., Ерофеева В.В., Шакиров К.Ф., Яблочников С.Л.
(Московский технический университет связи и информатики)
Митрошин В.Н., Узенгер А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
