Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы. Лабораторный практикум
Об издании
Лабораторный практикум выполняется по курсам «Основы высоких технологий», «Процессы микро- и нанотехнологии» и «Микротехнология слоистых материалов и покрытий». В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках. Практикум предназначен для студентов и магистров, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», специальности 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника».
Библиографическая запись
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы : лабораторный практикум / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2007. — 141 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98226.html (дата обращения: 20.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Алексеев С.И.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Ющубе С.В., Тарасов А.А.
(Томский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Кац Н.Г.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Курбатов В. А., Ерофеева В.В., Шакиров К.Ф., Яблочников С.Л.
(Московский технический университет связи и информатики)
Митрошин В.Н., Узенгер А.А.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
