Чтение online
Недоступно
Рейтинг издания
Поделиться:

Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Курс лекций

Издательство:
Издательский Дом МИСиС
Авторы:
Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р., Билалов Б.А.
Год издания:
2008
ISSN:
2227-8397
Тип издания:
учебное пособие
DOI:

Об издании

В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии. Учитывая, что в рассматриваемых процессах основную роль играют электроны и ионы, принято для краткости называть технологию элионной. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и нано-индустрии». Предназначено для подготовки специалистов по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».

Библиографическая запись

Кузнецов Г.Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р., Билалов Б.А.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2008. — 156 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98939.html (дата обращения: 10.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей

РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ

C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ

Этот сайт использует «cookies». Условия использования «cookies» см. в Пользовательском соглашении. Также сайт использует инструменты для сбора технических данных касательно посетителей с целью получения маркетинговой и статистической информации. Условия обработки данных посетителей сайта см. в Политике конфиденциальности. В случае несогласия с обработкой данных, просим покинуть сайт Принять условия