Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Курс лекций
Об издании
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии. Учитывая, что в рассматриваемых процессах основную роль играют электроны и ионы, принято для краткости называть технологию элионной. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и нано-индустрии». Предназначено для подготовки специалистов по направлению 210100 «Электроника и микроэлектроника» и может быть полезно для обучающихся по направлению 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике» и по специальности 210602 «Наноматериалы».
Библиографическая запись
Кузнецов Г.Д. Элионная технология в микро- и наноиндустрии : курс лекций / Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р., Билалов Б.А.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2008. — 156 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/98939.html (дата обращения: 17.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Кузнецова И.В., Напалков С.В., Смирнов Е.И., Тихомиров С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Петрянкин Ф.П., Лаврентьев А.Ю., Шерне В.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Малышева Н.Н., Щекочихин А.В., Сорокин П.Ю.
(Нижневартовский государственный университет)
Мальчукова Н.Н., Шемякина И.Е.
(Государственный аграрный университет Северного Зауралья)
Клементьева М.В., Кучина Т.И.
(Прометей)
Щербанин Ю.А., Зенкина Е.В., Толмачев П.И., Грибанич В.М., Дрыночкин А.В., Королев Е.В., Кутовой В.М., Логинов Б.Б.
(ЮНИТИ-ДАНА)
Горфинкель В.Я., Антонова О.В., Базилевич А.И., Блинов А.О., Бобков Л.В., Бурмистрова Л.М., Васильева И.Н., Вахрушина М.А., Вдовенко Л.А., Калашникова И.А., Максимцов М.М., Маслова В.М., Мостова В.Д....
(ЮНИТИ-ДАНА)
