Физико-технические основы микро- и наноустройств
Издательство: РЕАВИЗ
В пособии изложены теоретические положения и физико-технические методы анализа параметров физических сред и элементов конструкций, используемых в конструкторско-технологической практике создания микро-и наноустройств. Приведен большой круг задач и упражнений по рассматриваемой тематике. Форма представления учебного материала ориентирована на значительный объем самостоятельной работы студентов. Методические указания рекомендуются для студентов и специалистов, связанных по роду своей деятельности с вопросами создания микро- и наноразмерных биотехнических устройств.