Особенности получения наноструктурированных ионно-плазменных пленок с заданными свойствами

Авторы: Каменева А.Л., Клочков А.Ю.

Издательство: Пермский государственный технический университет

Представлены результаты исследований в области получения наноструктурированных пленок ионно-плазменными методами. Представлены результаты модернизации и автоматизации вакуумного оборудования, получения и исследований пленок ZrN, полученных электродуговым испарением и магнетронным распылением. Изучено влияние технологических и тепловых параметров на структуру, фазовый состав и свойства пленок ZrN. Предназначено для студентов и аспирантов, преподавателей, исследователей в области технологии получения износостойких покрытий.