Эволюция представлений о структурных зонах поликристаллических наноструктурированных пленок, формируемых методами вакуумных технологий

Авторы: Каменева А.Л.

Издательство: Пермский национальный исследовательский политехнический университет

Представлено современное решение проблемы стабилизации структуры и эксплуатационных свойств поликристаллических наноструктурированных пленок путем управления процессом их формирования, прогнозирования структуры пленок. Проанализированы стадии формирования поликристаллических пленок и модели их структурных зон, разработанные в России и мире с 1969 по 2011 г. Приведены примеры построения моделей структурных зон для поликристаллических наноструктурированных пленок, формируемых методом электродугового испарения. Предназначено для бакалавров, магистров, аспирантов и ученых, обучающихся и работающих в области технологии получения поликристаллических наноструктурированных пленок.